一、仪器用途
TBM-900 半导体检测仪是检测双极型晶体管的基区宽度，半导体晶片的直径、平整度、光洁度、表面污染、伤痕等，刻蚀图形的线条长、宽、直径间距、套刻精度、分辨率以及陡直、平滑必不可少的仪器。配备大视野目镜与偏光观察装置，透反射照明采用“柯勒”照明系统，视场清晰。可用于半导体硅晶片、LCD基板、电路板、固体粉未及其它各种透明或不透明工业试样的检验，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子工程学等研究的理想仪器,广泛应用在工厂、实验室和教学及科研等领域。
二、产品特点
采用优良的无限远光学系统与模块化功能设计理念，可以方便升级系统，实现偏光观察、暗场观察等功能，紧凑稳定的高刚性主体，充分体现了显微操作的防振要求。符合人机工程学要求的理想设计，使操作更方便舒适，空间更广阔。适用于金相组织及表面形态的显微观察，是金属学、矿物学、精密工程学研究的理想仪器。不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机显示屏幕上观察实时动态图像，并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。
三、技术参数
1.目镜
| 类型 |
放大倍数 |
视场(mm) |
| 大视野目镜 |
10X |
φ18 |
2.物镜
| 类别 |
放大倍数 |
孔径数值 |
工作距离(mm) |
| 无限远长距明场消色差物镜 |
5X |
0.12 |
9.7 |
| 10X |
0.25 |
9.3 |
| 20X |
0.40 |
7.2 |
| 50X |
0.70 |
2.5 |
| 80x |
0.80 |
1.25 |
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 500X 800X
4.三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、
磨砂玻璃)滤色片转换装置，推拉式检偏器与起偏器
5.五孔转换器 (外向式滚珠内定位)
6.机械式载物台:外形尺寸:280mmX270mm，移动范围:横向（X）204mm,纵向（Y）204mm
7.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
8.照明系统：12V 50W卤素灯,亮度可调；
9.特有防霉系统
四、系统组成
(TBM-900):1.显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.A/D(图像采集)
五、总放大参考倍数
TBM-900型： 50—3500倍
六、选购件
1.目镜: 10X分划 2.物镜:40X 60X 100X 3.二维测量软件 |
氲嘉?
