| 一、仪器用途
TGB-200 硅片检测显微镜主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数,配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器。
二、技术参数
1.目镜
| 类型 |
放大倍数 |
视场(mm) |
| 大视野目镜 |
10X |
Φ16 |
2.物镜
| 类别 |
放大倍数 |
数值孔径(NA) |
工作距离(mm) |
平场消色差物镜
（无盖玻片） |
5X |
0.12 |
18.3 |
| 10X |
0.25 |
8.9 |
| 40X |
0.60 |
3.7 |
| 60X |
0.85 |
0.26 |
3.光学放大倍数：50X 100X 400X 600X
系统参考放大倍数：50X-4000X
4.载物台：尺寸 185mm*140mm 移动范围 75mm*50mm
5.调焦系统：带限位和调节松紧装置的同轴粗微动 微动格值 0.002mm
6.滤色片组：转盘式，黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
7.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
8.照明系统：6V/20W卤素灯，亮度可调；220V（50Hz）
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:高像素的日本JVC摄像头
三、系统组成
(TGB-200)：1.硅片显微微 2.适配镜 3.CCD摄像器 4.A/D图像采集卡
四、总放大参考倍数
TGB-200：50--4000倍
五、选购件
1.图像测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度) 3.物镜：20X 80X 10X干
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片微
